●可配國內外各個廠家的直線電機和光柵尺
●可配國內外各個廠家的直線電機驅動器、控制卡、工控機
●可選購重防護型,用于精密超精密生產設備
●上面可以裝氣浮轉臺(θ)(T2-AB-04更適合)
●可以增加Z向(T2-AB-04更適合)
●上面可以裝微動臺和反射鏡,配合激光干涉儀,達到納米級精度
●可提供訂制服務,提供不同行程、承載、速度和精度的二維、三維、四維氣浮工作臺
序號
項目
內容
1
型號
T2-AB-03 T2-AB-04
2
最大承載
500N
3
最大行程
350mm * 350mm
4
運動直線度
±0.5μ
5
重復運動精度
±0.25μ